フラウンホーファーHHIがVeecoのスパッタシステムを選択

Institute for Optical Telecoms Researchは、レーザーファセットコーティングとマイクロオプティカルデバイスを作成するためのイオンビームスパッタリングシステムを注文しています。

HHIはVeecoのIBSテクノロジーを使用して、レーザーファセットコーティングを作成します。

Veeco Instruments は、Spectorイオンビームスパッタリング（IBS）システムとSirius光学モニターシステムを フラウンホーファー研究所 電気通信（HHI）。
この研究所は、ドイツのベルリンに拠点を置いており、このIBS技術を使用して「レーザーファセットコーティングおよびその他のマイクロ光学デバイスを開発および製造する」と述べています。
フラウンホーファーのバックエンドおよびパッケージンググループの責任者であるGreta Ropersは、次のようにコメントしています。
「VeecoのSpectorシステムとSirius OMSを組み合わせることにより、自動化された確立されたプラットフォーム上で最高のスループットとプロセスの再現性を備えた世界クラスのデバイスを確実に開発および生産できます。」

光学薄膜
お客様によると、Spectorプラットフォームは、生産性とスループットのレベルが向上した高品質の光学薄膜を生成します。蒸着コーティングとは異なり、イオンビームスパッタ薄膜は高エネルギーで堆積され、レーザーコーティングアプリケーションに優れた厚さ制御と低欠陥密度を提供します。SiriusOMSは、広帯域モニタリング制御とイオンビーム蒸着膜の安定性を組み合わせることにより、Spectorプラットフォームの機能を強化します。 。
VeecoのAdvanced Deposition and Etch（AD＆E）ビジネスのバイスプレジデント兼ゼネラルマネージャーであるAdrian Devasahayam博士は、次のように述べています。「Spectorシステムは、精密光学コーティング薄膜に比類のない品質と柔軟性を提供し、開発目標を加速させます。」
このプロジェクトの資金は、 Forschungsfabrik Mikroelektronik、マイクロエレクトロニクスとナノエレクトロニクスのクロスロケーション研究工場であり、フラウンホーファーグループ内の11の研究所と、革新的な高性能マイクロエレクトロニクスおよびフェルディナンドブラウンインスティテュート、ライプニッツインスティテュートフュアヘーヒストフレケンツテクニクを妥協させました。システムはVeecoのヨーロッパのチャネルパートナーと協力して販売されました、Veonis Technologies。